XRF est une technique spectrométrique aux rayons X pour l’analyse élémentaire d’une grande variété de matériaux.

Le spectre des rayons X  émis par la matière est caractéristique de la composition de l'échantillon, en analysant ce 

spectre, on peut en  déduire la composition élémentaire, c'est-à-dire les concentrations massiques en éléments. 

L'analyse du spectre  peut se faire de deux manières :

1. Par analyse dispersive en longueur d'onde (WD-XRF, wavelength dispersive X-  ray fluorescence spectrometry) ;

c’est l'analyse spectrale d'un rayonnement électromagnétique fait souvent  intervenir une dispersion angulaire 

dépendant de la longueur d'onde.

 2. Par analyse dispersive en énergie (ED-XRF,   energy dispersive X-ray fluorescence spectrometry):

est une spectroscopie des rayons X « dans laquelle l’énergie  des photons individuels est mesurée par un détecteur 

parallèle et utilisée pour établir un histogramme représentant  la distribution des rayons X en fonction de l’énergie  »

 L'EDXRF est une technique spectroscopique qui repose sur l'excitation par rayons X d'un échantillon. Les 

rayons X font partie du spectre électromagnétique, semblable à la lumière visible et UV, mais ils ont des énergies 

plus élevées et peuvent traverser les échantillons. Dans EDXRF, les rayons X de la source pénètrent dans un 

matériau, le faisant émettre une fluorescence de rayons X uniques d'énergies caractéristiques des éléments 

présents dans l'échantillon 

                                                              

 Les spectromètres Rigaku EDXRF utilisent des rayons X dans la plage d'énergie de 1 à 65 keV et utilisent 

l'effet photoélectrique pour déterminer la composition élémentaire. Cet effet se produit lorsque les rayons X 

incidents irradient les atomes d’un échantillon et que le matériau de l’échantillon excite et émet de l’énergie 

fluorescente sous forme de rayons X. Lorsque ce phénomène se produit, les électrons sont éjectés des orbitales 

atomiques internes, provoquant le transfert d’un électron d’une orbitale à énergie supérieure et à combler le vide 

dans l’orbitale à énergie inférieure. L'énergie excédentaire est émise sous forme de rayons X, et le spectromètre 

compte et mesure les énergies de ces rayons X émis par l'échantillon. Ces différences d'énergie entre chaque 

coquille sont toujours les mêmes pour un élément particulier, de sorte que le spectromètre identifie et quantifie les 

éléments présents dans l'échantillon .